零部件制造
半导体腔体类加工

卓力达专注半导体设备各类腔体、真空腔、反应腔等大型核心部件精密机械加工,材质涵盖铜、铝合金、不锈钢、石英等。依托高端 CNC 卧加、立车等设备,完成粗加工、热处理、精加工全流程,严格把控尺寸公差、平面度、密封性,产品适配蚀刻、PVD、CVD、扩散等核心半导体制程设备。

  • 半导体腔体类加工
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卓力达半导体腔体类加工优势
  • 卓力达高端设备

    配备牧野卧加、油机复合立车等高端重切削设备,可加工大尺寸、高硬度腔体部件。

  • 卓力达精度高

    针对半导体腔体密封、真空要求优化加工工艺,平面度、公差精度可达 0.001mm 级别。

  • 卓力达分区生产

    配套专属铜机加专区,铜质腔体独立加工,避免材质交叉污染。

  • 卓力达一站式交付

    加工后可联动清洗、阳极氧化、电镀等工序,一站式成品交付。

选择卓力达理由
  • 卓力达 01 专属车间
    卓力达

    专属车间

    设立铜机加专属车间,配套铜区加工中心、数控车床、专用 CMM 检测设备,专攻铜半导体部件。

  • 卓力达 02 精密质检
    卓力达

    精密质检

    全流程品质管控,采用海克斯康三坐标、三丰高度仪等精密设备逐件检测。

  • 卓力达 03 工况适配
    卓力达

    工况适配

    熟悉半导体腔体真空、耐腐蚀、高洁净使用要求,从工艺设计阶段规避后续使用风险。

  • 卓力达 04 一站式服务
    卓力达

    一站式服务

    集团一站式产业链,加工—表面处理—清洗—检测无缝衔接,交付效率更高。

客户案例

长期为德国博世、富创精密加工半导体反应腔体、真空腔体,产品尺寸精度、密封性能通过客户全项测试,批量供货稳定。

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