针对半导体行业各类含铜旧设备零部件提供再生清洗服务,适配铜材质腔体、管路、结构件等工件。采用化学清洗、物理清洗相结合的复合工艺,去除工件表面涂层、氧化物、颗粒杂质、残留药液与生产附着物,同时规避铜材氧化、腐蚀问题。清洗完成后配套喷砂、熔射、百级烘干、精密检测等全流程工序,让废旧零部件恢复使用性能,实现循环再利用,广泛应用于 PVD、CVD、蚀刻、扩散等半导体制程设备部件再生。
专属清洗配方
专属铜材清洗配方,精准把控药液浓度、温度与清洗时长,杜绝铜件腐蚀、变色,最大程度保留工件原有精度与结构强度。
独立清洗线
产线专项分区作业,独立旧件含铜清洗线,避免不同材质工件交叉污染,满足半导体高洁净要求。
全流程控尘
集成千级/百级洁净作业区,清洗、烘干、包装全流程控尘,成品颗粒度、洁净度符合半导体行业标准。
一站式服务
可配套陶瓷熔射、涂层修复等增值服务,一站式完成清洗 + 修复,延长零部件使用寿命。
长期为富创精密、江丰电子等半导体头部企业提供含铜旧件再生清洗服务,涵盖蚀刻机、薄膜设备内部铜制腔体、管路等部件。服务后零部件颗粒度、表面洁净度均达标,零部件使用寿命延长 30% 以上,帮助客户大幅降低设备配件采购成本与停机损耗,合作多年品质零投诉。