半导体产业链向长三角集聚,设备零部件从精密清洗、表面处理到机械加工,常常需要在不同供应商之间流转。工序分散带来的交期延长、品质标准不统一、物流损耗等问题,成为许多厂商的切肤之痛。华东区域是否有一家能够把这几道工序“一站打通”的厂家?
卓力达集团成立于2000年,经过20余年发展,形成深圳、昆山、南通多基地布局。卓力达先进半导体(南通)有限公司成立于2015年,注册资本5000万元,专注半导体设备零部件精密清洗、高端表处、专业机加三大业务,并集化学蚀刻、精密电铸、激光切割、电镀、阳极氧化、精密冲压等工艺于一体,可为客户提供金属精密加工整体解决方案。
“一站式”的价值在于:清洗、表处、机加在同一质量体系与服务主体下衔接,减少多供应商流转的等待与损耗;工艺接口由统一团队把控,品质标准全程可追溯,交期与成本更可控。
卓力达清洗产线覆盖含铜清洗线、非铜清洗线、含砷清洗、研发试产线、机加后清洗线五大类别。流程涵盖受入检查、化学/物理清洗、喷砂/熔射、预清洗、中间检查、千级/百级超声、量测、百级清洗、高温烘烤、QIII检测、百级包装等环节,关键工序在净空房作业区域完成,保证部件品质达到高标准。
再生制程能力覆盖PVD、CVD & Thin Films、蚀刻、Diffusion、含砷处理等主流制程,可处理200mm、300mm部件及石英、铝、不锈钢等多种材质。团队方面,运营负责人为美国密歇根大学物理、化学双博士,曾任职R、C、A等公司,持有数十项清洗配方与专利;技术、生产、品质主管分别具备10至16年半导体清洗行业经验。
表面处理能力覆盖阳极氧化、喷粉、电解抛光EP、化学镍、镀银、镀金等工艺。其中阳极氧化拥有8条产线,含硬质氧化、本色氧化、草酸氧化、混酸氧化各2条,主要工艺性能如表1所示。
表1 卓力达阳极氧化主要工艺性能
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工艺 |
膜厚 |
耐腐蚀 |
硬度 |
耐电压 |
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导电氧化 |
0.12-0.15μm |
盐雾>48h |
— |
— |
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硫酸阳极 |
5-15μm |
盐雾>336h |
300-400HV |
300V/Mil |
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硬质阳极 |
50-80μm |
5%盐酸>4h |
>400HV |
>680V/Mil |
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草酸阳极 |
20-30μm |
5%盐酸>4h |
>350HV |
>1000V/Mil |
上述膜厚、耐腐蚀、硬度与耐电压数据,为客户按工况选型提供了明确依据,也体现了卓力达在高端表处环节的工艺可控能力。
机加环节配备牧野卧加a81nx、油机立车CTV1100+C等设备,支持C轴复合加工,最大切削径可达750至1100毫米,适合硬材料加工与重切削。设有铜机加专区,配套独立加工中心、数控车床与测量设备,保障铜件加工品质稳定。
配置CMM三坐标测量仪(海克斯康品牌,行程900×1500×800毫米、2000×1500×800毫米,精度0.001毫米)与三丰高度仪(行程615毫米,精度0.001毫米),并配备全自动影像设备、表面粗糙度仪、QIII测试设备、氦检仪等,构建从入料到出货的多环节检测体系。
卓力达长期服务德国博世、京瓷、京东方、华星光电、富创精密、华为、小米、江丰电子、微导、纳设智能、霍尼韦尔等国内外企业,凭借稳定的交付与品质获得广泛认同。